在微观世界的探索中,扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)如同科学家的“眼睛”,而离子泵则是确保这双“眼睛”清晰明亮的关键组件之一。它虽不直接成像,却是维持电子显微镜高性能工作的无名英雄。
离子泵作为一种无污染、极限真空度高的真空获得设备,在尖端科研和工业领域扮演着关键角色。它通过电离并捕获气体分子来维持洁净的超高真空(UHV)环境,这对于许多精密设备的正常运行至关重要。
离子泵作为一种无油清洁的超高真空获取设备,在电子枪系统中扮演着核心角色。电子枪是电子显微镜、粒子加速器、自由电子激光装置等高端设备的关键部件,其性能直接依赖于工作环境的高真空质量。离子泵通过非蒸发式吸气机制维持真空度,避免油污染,保障电子发射与加速过程的稳定性。
离子泵是获得并维持超高真空(UHV,通常指压力低于10⁻⁸ mbar)乃至极高真空(XHV)环境的关键设备之一。其依靠场内放电使气体分子电离,并通过化学吸附和物理掩埋机制永久捕获气体分子,从而实现清洁、无油、无振动的真空维持。这一特性使其在诸多对真空质量、洁净度和稳定性要求极高的尖端科技领域扮演着核心角色。
离子泵作为一种能够获得超高真空度的真空设备,在高端科技领域扮演着不可或缺的角色。其无油污染、运行安静且能长期稳定工作的特性,使其特别适合对清洁度与可靠性要求极高的空间探索和通讯技术领域。 在空间技术应用中,离子泵主要用于模拟宇宙空间的超高真空环境。航天器材料及元件在发射前必须经历严格的地面测试,以评估其在太空环境中的性能变化和相互作用。
在极紫外(EUV)光刻技术中,离子泵作为关键的高真空获得设备,发挥着不可或缺的作用。EUV光刻机需要工作在13.5nm波长的极紫外光下,这种光线极易被空气吸收,因此必须在其光学路径和光源区域创造并维持极高的真空环境(通常要求达到10⁻⁸ mbar甚至更低),以消除微粒和气体分子的干扰,确保光刻过程的精确性。
空间实验站是人类开展太空科学研究的重要平台,而维持其内部及特定实验设备的超高真空环境至关重要。离子泵作为一种无污染、高可靠的真空获得设备,在此发挥着不可替代的作用。
离子泵作为一种高效真空设备,在医学成像领域发挥着不可或缺的作用,尤其在磁共振成像(MRI)和放射成像等高精度医疗设备中,为维持成像环境的核心稳定性提供了关键技术支撑。
我公司自主研发的JWS-F系列离子泵,成功通过国内某头部半导体设备公司严苛验证,配套其FIB-SEM双束分析平台,提供稳定超高真空保障。产品性能媲美国际顶级品牌,交期缩短75%,成本降低30%,帮助客户显著提升供应链安全,有效降低被国外“卡脖子”风险,成为国产高端半导体设备真空部件国产化的成功典范。
我公司为某领先TEM科学仪器公司量身打造三款专用离子泵,经过严苛测试,极限真空≤1×10⁻⁸ Pa,直接替换原进口型号。我公司现已进入该客户TEM产品配套的供应链名单,采购额度逐年扩大,产品交期缩短40%,成本降低50%。关键部件国产化率从60%提到90%,客户评价:“再也不怕海外断供,国产泵让我们心里踏实。”
在国家自然科学基金项目“光纤端面量子点生长”中,我司为某重点高校量身定制了一套超高真空解决方案。项目周期紧、指标高,我们快速组建科研与工程联合小组,短期内完成原型设计并一次性通过现场验证,真空度远超预期,为量子点的精准生长提供了前所未有的洁净环境。